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VGF單晶爐

VGF單晶爐主要用于砷化鎵、銻化鎵、鍺等化合 PAN S 物半導(dǎo)體材料的單晶生長。

VTM碲鋅鎘單晶體生長爐

碲鋅鎘單晶爐是依據(jù)我公司自主研發(fā)的VTM工藝方法所設(shè)計(jì)的新型單晶工藝設(shè)備, 設(shè)備由加熱系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)支撐機(jī)構(gòu)、電控系統(tǒng)四部分組成,適用碲鋅鎘、碲化鎘、銻化鎵等多種化合物半導(dǎo)材料的單晶生長。

多晶合成爐

多晶合成爐主要用于GaAs、CdTe等多種化合物材料的多晶合成工藝。

氧化物單晶生長爐

可用于“第四代”半導(dǎo)體單晶材料,氧化鎵Ga2O3等氧化物材料晶圓的生長制造。

真空鍍碳爐

臥式管狀加熱爐主要應(yīng)用在半導(dǎo)體晶體材料的生長工藝過程中,對石英坩堝內(nèi)壁鍍碳處理,能夠有效阻隔高溫溶體與石英坩堝的反應(yīng),有利于完整、高質(zhì)量單晶體的生產(chǎn)。
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VTM碲鋅鎘單晶體生長爐
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氧化物單晶生長爐
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